三星终止8代垂直蒸镀OLED研发线，爱发科已拆除设备

2024-04-09 13:59

WitDisplay消息，近日，日本真空设备制造商爱发科拆除了安装在京畿道平泽Hyungok工厂的第八代垂直OLED蒸镀设备。该设备由三星显示通过与爱发科的联合投资制造，以验证垂直蒸镀工艺。行业人士认为，未来，不太可能在韩国引入垂直蒸镀技术的大规模生产，并且被解释为该项目已完全终止。

蒸镀工艺是OLED制造的核心工艺之一，制约着OLED的良率和产能。根据精密金属掩膜板(FMM)放置方向，蒸镀工艺可分为水平蒸镀以及垂直蒸镀。当前，主流的OLED工艺包括水平蒸镀+FMM（Fine Metal Mask） LTPS OLED、水平蒸镀+OMM（Open Metal Mask） WOLED、水平蒸镀+OMM QD OLED。

不过，水平蒸镀工艺并不完美，一直存在“重力下垂”的技术瓶颈。据介绍，FMM是超薄的金属遮罩，当水平放置时，在重力的作用下FMM中间与边缘存在一定的偏移量，而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明显。这不利于提高AMOLED的PPI，使混色良率降低，大幅提高了AMOLED生产成本。

而垂直蒸镀工艺最大的优点就能避免水平蒸镀工艺FMM“重力下垂”带来的干扰。垂直蒸镀工艺则将FMM垂直放置，FMM和玻璃基板形变小，蒸镀更均匀，像素位置精度(PPA)更高，混色更小，同时可以提升分辨率，降低功耗、成本，成为一个重要的蒸镀工艺制程方向。

当前，只有JDI拥有一条垂直蒸镀工艺低世代量产线，主要用于生产手表用的OLED。JDI表示，垂直方式蒸镀设备所占面积相比目前的水平方式蒸镀设备的减少30%。业内人士也向WitDisplay透露，JDI为苹果手表供应的OLED就是采用垂直蒸镀工艺生产的。

如果FMM从水平位置变成垂直位置，这种“超薄平板中心凹陷”的重力效应就基本会消失——但是，媒体报道也指出“业内没有垂直沉积的经验可循”，垂直沉积方式，是不是面临更多的材料、设备和OLED凝华力学变化等诸多方面的新问题。

原文标题 : 三星终止8代垂直蒸镀OLED研发线，爱发科已拆除设备