可替代用于OLED、LCD等设备LTPS的全新TFT技术

2018-08-15 14:18

据外媒报道，总部位于美国的Solar-Tectic公司，日前在宾汉姆顿大学和Blue Wave Semiconductor的协助下，获得了全新薄膜晶体管（TFT）技术专利，该技术将有助于提高有机发光二极管（OLED）、有源矩阵OLED（ AMOLEDs）、液晶设备（LCD）显示器以及太阳能电池设备的效率并降低其成本。

与用于制造驱动显示器像素并需要昂贵的准分子激光退火的TFT的传统低温多晶硅（LTPS）工艺不同，这种新工艺是由金属诱导结晶（MIC）衍生而来的，并且使用改性液相外延电子束工艺，能够在低至232°C的温度下，在金属氧化物，如氧化镁缓冲基板上沉积薄金属层，然后沉积最终的汽化硅（Si）层并结晶成约50至100nm厚的薄膜，整个流程没有任何金属残余物。

通过使用拉曼光谱和X射线光谱对Si膜进行的分析显示出了高达188cm2/Vs的电子迁移率（而传统的LTPS电子迁移了则为100cm2/Vs）。

研究人员希望通过使用ST和BWS定向的MgO（111）薄膜缓冲基板进一步提高晶体尺寸，从而进一步提高电子迁移率，最终提高设备效率并有效降低成本。