INFICON推出用于OLED沉积的镁敏晶体

2022-09-22 11:09

一直以来，不少OLED生产商都面临着OLED生产过程中镁材料的沉积问题。为了解决这类问题，INFICON宣布开发出专门用于OLED沉积的高水平镁敏晶体，显著缩短了镁监测的初始时间延迟，同时保持了高稳定性和再现性。

图片来源：INFICON

石英晶体微天平（QCM）是INFICON最重要的产品之一，用于有机发光二极管（OLED）和光学器件制造，以及许多其他应用。由于薄膜的质量负载，QCM的共振频率发生了变化，这使得它可以被用作测量衬底上薄膜厚度积累速率的替代方法。

INFICON高精度传感器晶体的设计是基于许多OLED制造商对更稳定的晶体的要求，在控制OLED材料的沉积时，更不容易出现活性下降（活性信号的不稳定）。INFICON高精度传感器晶体的场性能表明，在出现的次数和很少发生时的量级方面，活性下降几乎消失提高了速率稳定性。

此前，OLED行业还没有快速检测镁的解决方案。用户必须解决这个镁延迟问题，在实际沉积监测之前，在相同的真空室中用镁预涂晶体。这一额外步骤的预涂镁需要相当耗时，昂贵且浪费材料。

为了开发镁敏OLED晶体生产线，INFICON详细研究了晶体制造的所有组件和加工参数，包括晶体的形状和光洁度、电极厚度、电极材料和电极的涂覆率。通过对各种晶体的制备、测试和分析，优化了材料和工艺参数。使用经过研究和现场验证的优化材料和工艺参数，INFICON镁敏OLED晶体由此诞生。

INFICON目前为标准镁敏OLED晶体生产线提供金和合金电极材料。此外，更高等级和更稳定的镁敏晶体生产线（基本上没有活性下降）也可用于这两种电极材料。

关于INFICON

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