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华星光电采购ITO沉积设备用于OLED试产线

导读: 据荷兰激光沉积设备制造商Solmates消息,其向华星光电(CSOT)出售了一套小型面板(200×200mm)脉冲激光沉积(PLD)设备,将用于武汉的OLED试产线。

华星光电将采用荷兰激光沉积设备的新设备向OLED显示屏上沉积ITO电极。据荷兰激光沉积设备制造商Solmates消息,其向华星光电(CSOT)出售了一套小型面板(200×200mm)脉冲激光沉积(PLD)设备,将用于武汉的OLED试产线。

Solmates拥有采用脉冲激光沉积实现OLED ITO电极沉积专利,并开发出能在室温下大面积沉积ITO的技术。脉冲激光沉积可以实现高品质ITO沉积,Solmates表示,实现透明度高于目前的工艺。Solmates的设备将被安装于自2016年底开始在武汉建设的自动化装配产线。Solmates将于2017年6月发货。目前的设备主要用于研发,不过该技术也可以扩展到更大基板以及用于生产系统。

华星光电将采用该设备进行ITO沉积,但也可以配置用于封装层无机层的沉积,这一流程目前采用PECVD或ALD工艺。

华星光电为TCL子公司,于2015年7月宣布建设武汉6代LTPS工厂。该厂将生产液晶和OLED面板,总投资26亿美元。采用激光脉冲沉积法的新研发产线也位于该厂,将用于新技术研发和改善公司的OLED制造工艺。

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