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日科学家开发出以氧化锌薄膜取代铟的液晶面板制造技术

导读: 日本高知工科大学与三菱Gas化学公司,开发出制造液晶面板时不使用稀有金属铟,而以氧化锌取代的技术。截至目前为止,该大学已经确立了取代75%铟的技术,剩下的25%替代技术也有了眉目。

  日本高知工科大学与三菱Gas化学公司,开发出制造液晶面板时不使用稀有金属铟,而以氧化锌取代的技术。截至目前为止,该大学已经确立了取代75%铟的技术,剩下的25%替代技术也有了眉目。

  液晶面板是以上下两片氧化铟锡(ITO)薄膜电极夹住液晶,电极的膜厚上下不同,铟的使用量据云上部电极为75%,下部电极为25%。

  新开发的技术是将下部的电极作成氧化锌薄膜,使用弱酸性的蚀刻液及有机碱性阻剂显像液,可以与市售面板同精度的4微米单位,将微细图案加工在氧化锌薄膜上。若无法进行微细图案的加工,将无法得到漂亮的液晶显示

  锌的耐酸性与耐碱性均较铟为差,一旦接触到药液即瞬间溶解,很难制作微细的图案。高知工科大学与三菱Gas化学公司,本次是通过调整显示酸与碱强度的ph值来抑制溶解。

  先行开发出替代技术的上部薄膜电极,并不需要进行微细图案的加工。今后的课题在针对下部薄膜,开发可以转用至面板量产装置的新技术。(编辑:于占涛)
 

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